Dùng cho ứng dụng 300 mm Wafer: Van cửa trượt kiểu làm kín song song dòng XGTP
Bảo trì dễ dàng hơn
Dễ dàng thay thế ống xếp (Bellows)

Có thể thay thế cửa van từ phía trên (Made to order)

Câu hỏi thường gặp
Bấm vào đây để tìm hiểu thêm về Thiết bị chân không.
Bấm vào đây để tìm hiểu thêm về Các câu hỏi thường gặp về sản phẩm.





